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大尺寸衍射光波导
新型显示与光器件
高光效导光板
高性能电容触控屏
超低阻抗透明导电薄膜
显示照明光学板材
大尺寸衍射光波导
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技术特点
超大幅面纳米尺度全息光刻平台
口径600mm内大幅面微纳米光栅结构
自研快响应的高精度锁定系统
大幅面纳米结构制造加工能力
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