技术特点
- 压印模式:辊对平压印,UV压印固化( 365nm紫外光LED )
- 运行模式:单片压印,自动脱模
- 对位精度:套准精度 5-10um
- 压印结构:50nm-50um
- 压印面积:200*200(FlexAligner-P200);300*300(FlexAligner-P350)
- 子模类型:柔性透明模具(FlexAligner-P200);金属模具(FlexAligner-P350)
- 衬底类型:玻璃&硅片(FlexAligner-P200); 柔性卷材(FlexAligner-P350)
- 应用领域:大面积光波导、光场成像、衍射光栅、微透镜阵列、薄膜透镜…